微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列,它不僅具有傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等基本功能,而且具有單元尺寸小、集成度高的特點(diǎn),使得它能夠完成傳統(tǒng)光學(xué)元件無法完成的功能,并能構(gòu)成許多新型的光學(xué)系統(tǒng)。
微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列,它不僅具有傳統(tǒng)透鏡的聚焦、成像等基本功能,而且具有單元尺寸小、集成度高的特點(diǎn),使得它能夠完成傳統(tǒng)光學(xué)元件無法完成的功能,并能構(gòu)成許多新型的光學(xué)系統(tǒng)。
微透鏡陣列可分為折射型微透鏡陣列與衍射型微透鏡陣列兩類。衍射微透鏡列陣?yán)闷浔砻娌ㄩL量級的三維浮雕結(jié)構(gòu)對光波進(jìn)行調(diào)制、變換,具有輕而薄、設(shè)計(jì)靈活等特點(diǎn)。作為功能元件,在波前傳感、光聚能、光整形等多種系統(tǒng)可得到廣泛應(yīng)用。
微透鏡陣列將一個(gè)完整的激光波前在空間上分成許多微小的部分, 每一部分都被相應(yīng)的小透鏡聚焦在焦平面上, 一系列微透鏡就可以得到由一系列焦點(diǎn)組成的平面。如果激光波前為理想的平面波前, 那么在微透鏡陣列焦平面上就可以得到一組均勻而且規(guī)則的焦點(diǎn)分布;然而實(shí)際的激光波前并不是理想的平面波前, 它們或多或少地帶有一些畸變, 用微透鏡陣列聚焦后, 焦點(diǎn)不再是均勻分布, 而是與理想的焦點(diǎn)發(fā)生了位移。